型の製造方法およびそれに用いられる電極構造

Procédé de fabrication de moule et structure d'électrode à utiliser dans celui-ci

Mold manufacturing method and electrode structure for use therein

Abstract

L'invention concerne un procédé très efficace d'oxydation anodique d'un film d'aluminium formé sur un substrat ayant une surface importante et une structure d'électrode utilisée dans ce procédé. Un procédé de fabrication d'un moule de type œil de papillon comprend (a) un procédé de fabrication d'une couche d'alumine poreuse présentant de fines dépressions par l'oxydation anodique par une électrode (32a) en contact avec la surface d'un film d'aluminium (10a), (b) un procédé pour agrandir les fines dépressions par la mise en contact de la couche d'alumine poreuse avec un fluide de gravure après le procédé (a), et (c) un procédé d'agrandissement des fines dépressions par une autre oxydation anodique après le procédé (b). Le film d'aluminium est formé d'aluminium ayant une pureté d'au moins 99,99 % en poids. Les électrodes comportent une première électrode (32a1) formée d'aluminium dont la pureté n'est pas supérieure à 99,50 % en poids et une seconde électrode (32a2) formée d'aluminium dont la pureté est supérieure à celle de la première électrode et qui est positionnée entre la surface et la première électrode. Les procédés (a) et (c) sont exécutés lorsque la seconde électrode est en contact avec la surface dans un fluide électrolytique.
Proposed are a method for very efficient anodic oxidation of an aluminum film formed on a substrate having a large area and an electrode structure used in this method. A method for manufacturing a moth eye mold includes (a) a process for forming a porous alumina layer having fine depressions by anodic oxidation by an electrode (32a) in contact with the surface of an aluminum film (10a), (b) a process for enlarging the fine depressions by placing the porous alumina layer in contact with an etching fluid after process (a), and (c) a process for enlarging the fine depressions by further anodic oxidation after process (b). The aluminum film is formed from aluminum having a purity of at least 99.99% by weight. The electrodes comprise a first electrode (32a1) formed from aluminum having a purity of no more than 99.50% by weight and a second electrode (32a2) which is formed from aluminum having a higher purity than that of the first electrode and is positioned between the surface and the first electrode. Processes (a) and (c) are conducted when the second electrode is in contact with the surface in the electrolytic fluid.
本発明のモスアイ用型の製造方法は、(a)アルミ膜(10a)の表面に接触させた電極(32a)を介して陽極酸化し微細な凹部を有するポーラスアルミナ層を形成する工程と、(b)工程(a)の後にポーラスアルミナ層をエッチング液に接触させ微細な凹部を拡大させる工程と、(c)工程(b)の後にさらに陽極酸化し微細な凹部を成長させる工程を包含し、アルミ膜は99.99質量%以上の純度のアルミニウムで形成され、電極は99.50質量%以下の純度のアルミニウムで形成された第1電極部(32a1)と、第1電極部より純度の高いアルミニウムで形成され、表面と第1電極部との間に設けられた第2電極部(32a2)を有し、工程(a)、(c)は、第2電極部が表面と電解液中で接触された状態で行われる。本発明によると、大面積の基板上に形成したアルミ膜を効率良く陽極酸化する方法及びそのような方法に用いられる電極構造が提供される。

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